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提高蒸发源质量的重要技术是受热是否均匀

来源:未知 浏览次数: 日期:2019-12-07 16:15
在真空镀膜过程中,需要通过蒸发源将蒸发的物质蒸发(或升华)成蒸汽。蒸汽凝结在要蒸发的物体表面形成薄膜。因此,蒸汽源产生的蒸汽是否均匀对薄膜的质量至关重要。蒸发源通常采用“线状源”的形式,线状源包括长条形腔体,腔体顶部均匀地设有多个出风口,底部与坩埚连接,坩埚用于盛装蒸发物料并将其蒸发。产生的蒸汽进入燃烧室并从喷嘴排出。
 
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薄膜质量直接关系到蒸发温度和蒸发速率。为了获得均匀的涂层,必须均匀加热蒸发的材料。目前,生产线上使用的蒸发源引起坩埚温度分布不均匀的主要原因是:加热丝变形、坩埚放置偏差、坩埚周围热反射变形等现有技术加热不均,使得蒸发室中的蒸发材料加热不均,成膜质量差,难以生产出高质量的OLED显示屏。
 
因此,目前很多手机的OLED显示屏都比LCD显示屏贵很多,这可能是原因之一。因此,蒸汽源技术也需要不断的创新、变革和发展。如果热量均匀,也有可能生产出高质量的OLED显示屏。
 
 


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 关键词: 蒸发源质量,受热均匀